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探针台系统剖析
2018-10-051179

探针台系统剖析


探针台系统分为手动探针台与自动探针台,以下我们主要分析手动探针台:


探针台用途:

手动探针台又称探针测试台主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台,探针台可吸附多种规格芯片,并提供多个可调测试针以及探针座,配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析,抽查测试等用途。


探针台系统组成:

探针台台体+显微镜+探针座+探针夹具+探针+测试源表(请注意无测试源表就构成不了系统,探针台只是提供一个测试平台,一切数据的测量都需要依靠测试源表来完成)



探针台测试环境:

可提供的测试环境有:常温、高温、高低温测试、真空高低温、高压、辐射以及磁场环境。


依靠探针台能胜任的测试有:

序号

根据测试样品分类

序号

根据应用分类

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